WS_2/MoS_2/C复合薄膜的磨损性能研究

作者：周磊; 尹桂林; 王玉东; 余震; 何丹农

来源：上海金属, 2009, (06): 28-31.

• WS2/MoS2/C复合薄膜
• 磁控溅射
• 磨损性能 WS2/MoS2/C Composite Films
• Magnetron Sputtering
• Wear Properties

采用磁控溅射法,使用WS2/MoS2复合靶材,通过与乙炔气体反应溅射,制备WS2/MoS2/C复合薄膜,利用X射线衍射对薄膜的成分结构进行分析,采用MFT-4000材料表面性能试验仪在室温大气环境(相对湿度60%)下评价薄膜的摩擦磨损性能,使用AxioCSM700共聚焦显微镜观察WS2/MoS2/C复合薄膜磨损表面磨痕形貌,结果表明,WS2/MoS2/C复合薄膜结构致密,在潮湿大气中抗磨损性能比MoS2磁控溅射薄膜有显著提高,在30min往复摩擦后复合薄膜未发生磨屑脱落。

• 单位
  上海交通大学; 纳米技术及应用国家工程研究中心