光学元件质量与加工参数之间存在复杂的关系，当前模型无法准确描述两者之间的变化特征，使得光学元件加工质量较差。为了获得更优的光学元件加工质量，构建了光学元件质量与加工参数间关系的数学模型。分析光学元件质量的变化特点，根据元件加工流程，获取与光学元件质量相关的参数，并根据参数优化数学模型。仿真测试结果表明，模型可以高精度地描述光学元件质量与参数之间变化关系，减小了元件表面厚度刻蚀误差，使得光学元件加工粗糙度下降，表面形貌更为平整。
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