Eu3+,Dy3+共注入AlN薄膜结构和发光特性研究

作者：马海; 王晓丹^*; 李祥; **; 毛红敏; 曾雄辉

来源：光子学报, 2020, 49(08): 189-195.

• 光电子
• 氮化铝
• 铕
• 镝
• 应力
• 阴极荧光
• 能量传递

采用离子注入方法在氢化物气相外延法生长的AlN薄膜中注入了不同剂量的Dy3+和Eu3+,制备了Dy3+单掺、Dy3+和Eu3+共掺的AlN样品.对于Dy3+单掺杂AlN样品,X射线衍射和拉曼散射实验结果表明随着Dy注入剂量的增加,样品的压应力也增加,形成了比较明显的损伤层;但当注入剂量由5×1014at/cm2增加至1×1015at/cm2时,压应力增加不明显,接近于饱和.对于Dy3+和Eu3+共掺的AlN样品,阴极荧光实验表明,AlN中Eu3+和Dy3+之间可能存在能量传递,能量传递途径为在声子辅助下从Dy3+的4F9/2→6H15/2至Eu3+的7F0→5D2的共振能量传递.此外,计算发现改变Dy3+和Eu3+离子的注入剂量比能实现发光色度坐标和色温的有效调控.

• 单位
  中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所; 数理学院; 苏州科技大学