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摘要
文章介绍了一种表征电镀铜添加剂的副产物的方法。具体方法是恒流法,在一恒定的电流密度下,利用阴极电位变化值Δφ的大小来进行添加剂的副产物的表征。首先,采用此方法分析电镀液各组分不同浓度对Δφ的影响,发现各组分浓度在控制范围内变化时,Δφ小于某一定值;然后,通过空气氧化、H2O2氧化、电解的方法产生副产物,Δφ值有明显的增大;最后,通过不同的处理方式后,Δφ值有明显的降低,大部分的副产物被除去。
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文章介绍了一种表征电镀铜添加剂的副产物的方法。具体方法是恒流法,在一恒定的电流密度下,利用阴极电位变化值Δφ的大小来进行添加剂的副产物的表征。首先,采用此方法分析电镀液各组分不同浓度对Δφ的影响,发现各组分浓度在控制范围内变化时,Δφ小于某一定值;然后,通过空气氧化、H2O2氧化、电解的方法产生副产物,Δφ值有明显的增大;最后,通过不同的处理方式后,Δφ值有明显的降低,大部分的副产物被除去。
