影响扫描电镜图像质量的因素分析

作者：周广荣

来源：现代仪器, 2010, (06): 57-59.

• 扫描电子显微镜
• SEM
• 图像质量 Scanning electron microscope
• SEM
• Image quality

本文介绍影响扫描电镜图像质量的因素及其对图像质量的影响,分别从加速电压、扫描速度和信噪比、束斑直径、探针电流、消像散校正、工作距离以及反差对比等分析图像质量的变化原因,提出提高图像质量的方法。

• 单位
  复旦大学