MEMS痕量爆炸物传感器的探测选择性分析

作者：齐永光; 孔德义

来源：传感器与微系统, 2008, (07): 9-11+14.

DOI：10.13873/j.1000-97872008.07.014

• 选择性探测
• 痕量爆炸物探测
• 微硅梁
• 微悬臂梁
• 微电子机械系统 detection selectivity
• trace explosive detection
• micro silicon beam
• microcantilever
• MEMS

利用MEMS传感器对被测物进行高选择性探测。对几种不同探测原理的MEMS痕量爆炸物传感器进行了分析与比较,指出其在选择性探测方面的不足与缺陷,提出了可提高选择性的解决方法。