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摘要
电子探针分析具有微区、原位、无损、分析速度快、分析元素范围广、定量分析准确度高等特点，是固体物质微区原位元素组成定量分析的主要技术手段，广泛应用于材料、地质、冶金、矿产、电子、生物、考古、空间科学等领域，但我国的电子探针长期依赖于进口，存在着“卡脖子”的风险。本文回顾了电子探针的研制历史，梳理了国内外电子探针的研制现状，总结了我国电子探针研制存在的问题和短板，指出了电子探针研制的发展趋势，以期为我国电子探针的研制提供借鉴。
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单位核工业北京地质研究院
