一种纵弯复合模态直线超声电机的研究

作者：杨芷威; 何勍^*

来源：微电机, 2023, 56(02): 31-70.

DOI：10.15934/j.cnki.micromotors.2023.02.007

• 直线超声电机
• 纵弯复合模态
• 中空振子
• 频率差调整
• 单驱动足

本文提出了一种纵弯复合模态超声电机，通过两相电信号激励电机振子产生一阶伸缩及三阶弯曲模态，在驱动足处耦合出椭圆轨迹，并利用摩擦力驱使动子运动。利用有限元软件优选出压电振子基体的结构尺寸、两模态振型及两模态频率差并设计制作原理样机，对原理样机的振动特性及输出性能进行了测试。在240 V峰峰值驱动电压时，原理样机的最佳驱动频率为36.783 kHz,对应的最大空载速度为21.66 mm/s,最大推力0.12 N。

• 单位
  自动化学院; 辽宁工业大学