磁控溅射制备钛基薄膜研究进展

作者：迟迅; 宋长虹; 鲍君峰; 高陟; 任鑫明; 马北越

来源：热喷涂技术, 2020, 12(02): 17-21.

• 磁控溅射
• 钛基薄膜
• 研究进展

磁控溅射技术是制备钛基薄膜常用的方法。本文综述了磁控溅射法的基本原理、特点及方法种类,并总结了磁控溅射法制备TiO2、TiN、TiC薄膜和Ti复合薄膜的最新研究进展,最后展望了磁控溅射技术制备Ti基薄膜的发展方向。

• 单位
  北京科技大学; 沈阳黎明航空发动机有限责任公司; 东北大学