摘要

根据落射式微分干涉相衬显微镜中Nomarski棱镜的光学原理,通过几何光学运算,推导出棱镜主要结构参数的理论关系式,利用MATLAB程序将关系式转化为二维曲线,再根据关系曲线的变化趋势来确定适合于Nomarski棱镜主要结构的参数取值范围,从而实现优化设计的目的。