以CH4和H2为气源，采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),通过改变碳源浓度分别为5%、10%、15%,在硬质合金(YG6)上沉积了金刚石涂层样品。使用白光共聚焦显微镜、纳米压痕仪等研究了样品的微观形貌、表面粗糙度和弹性模量。结果表明：金刚石涂层表面光滑均匀，1 mm2区域表面粗糙度约为2μm,随着甲烷浓度升高，薄膜弹性模量呈先升高后下降的趋势，其中10%甲烷浓度制备的样品平均弹性模量约为457.9 GPa。
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