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摘要
常用于薄膜热电阻热流传感器（简称薄膜热流计）的两步法存在标定步骤多、误差源多等问题。在解决吸收薄膜必要性、标定时限和标定热流范围等问题的基础上，实现了薄膜热流计的对比标定。在对比标定薄膜热流计时，基体材料的热物性参数乘积及热电阻的电阻–温度系数被处理为简单的传感器灵敏度系数，使得标定实验仅需重复简单的步骤，有效减少了误差源；针对通过对比标定获得的多支薄膜热流计灵敏度系数差异大的问题，在分析其测温原理的基础上，通过去除热电阻的电阻–温度系数，得到同一批次生产的多支薄膜热流计较为一致的修正灵敏度系数。薄膜热流计对比标定结果的扩展不确定度不超过6.5%，明显优于两步法标定结果的扩展不确定度（约10.7%），提升了薄膜热流计测热结果的可信度。
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