多波长集成光源阵列封装用微波馈线设计

作者：高嘉敏; 孙长征; 熊兵; 王健; 杨舒涵; 罗毅

来源：半导体光电, 2019, 40(03): 351-354.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2019.03.011

• 集成光源
• 封装
• 微波馈线
• 传输损耗
• 串扰

针对多波长集成光源阵列封装设计了一种具有低传输损耗、低串扰的阵列微波馈线。通过分析微带线和接地共面波导在传输高频微波信号时的优缺点,设计了一种桥型微波馈线结构。同时利用有限元法,对馈线尺寸参数进行仿真优化。在30GHz范围内,得到了反射系数低于-17dB、传输损耗小于0.4dB、相邻信号电极间串扰小于-26dB的仿真结果。设计了基于金线键合的阵列芯片方案,并通过有限元法仿真确定了传输性能良好的封装间距。

• 单位
  清华大学