基于二元光学透镜光谱聚焦特性的微间距测量

作者：王思沫; 李凡星; 彭伏平; 杜佳林; 严伟^*

来源：光学学报, 2020, 40(02): 99-105.

• 测量
• 光谱
• 共聚焦
• 二元光学透镜
• 轴向色散
• 测距

针对传统色散透镜的色散线性度很难保证为绝对线性,测量范围很窄的问题,且为了尽量减小球差尤其是对测量影响最大的轴向球差,提出一种将二元光学透镜引入到光谱共聚焦微小间距测量的方法。该方法中二元光学透镜的色散只与入射光的波长有关,且严格与入射光的波长成反比。二元光学透镜不存在球差问题且可以补偿校正测量系统中其他光学组件的未知色差。实验中选择510～690nm范围内的光谱,利用分辨率为0.5nm的光谱仪接收光谱信息,测得该方法的测量量程为13.95mm,测量误差为0.6μm,并通过对光盘上的刻录间距进行测量,验证了该方法的有效性。

• 单位
  微细加工光学技术国家重点实验室; 中国科学院光电技术研究所; 中国科学院大学