高灵敏度低工作温度的氢气传感器

作者：梁庆成; 赵建勋; 高尚; 蒋大勇; 侯建华; 秦杰明

来源：黑龙江科技信息, 2016, (36): 96-97.

• 气体传感器
• 半导体
• 纳米纤维

我们制备了新型的高灵敏度低工作温度的氢气传感器。该传感器基于静电纺丝法合成的混有碳纳米管的Pd-Ni-SnO2纳米纤维。对合成的材料通过XRD、SEM、TEM、SAED进行了表征。传感器以3×4mm2带有Pt电极的SiNx-Si-SiNx片为衬底,敏感层的面积为1.5×2.5mm2。在室温下(25℃),该传感器对H2有着很好的气敏特性,对1ppm H2其敏感度达到15,响应和恢复时间分别为6s和9s,同时传感器在90天内敏感特性几乎不变,说明其具有优异的稳定性。

• 单位
  长春理工大学