基于MEMS技术的微型热导检测器的研制

作者：孙建海; 崔大付; 张璐璐; 任艳飞; 李辉; 陈兴

来源：仪表技术与传感器, 2009, S1: 318-320.

• 热导检测器
• 热敏电阻
• 热导池 thermal conductivity detector
• thermal resistance
• thermal conductivity cell

文中采用MEMS技术加工研制了一种新型热导检测器,这种微型热导检测器采用电阻率高、电阻温度系数大的Pt热敏电阻,利用MEMS技术将Pt薄膜沉积在Pyrex 7740玻璃上并通过剥离技术获得热敏电阻,而气体通道以及热导池是通过深刻蚀在硅片上刻蚀得到,热导池的体积为0.4μL.这种热导检测器具有灵敏度高,不受气流影响,不易氧化等特点,适用各种混合气体分离检测。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所