离子注入机用层叠开放式加速电源的研制

作者：金则军; 刘玉军; 于亮; 申晓景

来源：电子工业专用设备, 2021, 50(06): 12-15.

• 离子注入机
• 高压电源
• 层叠开放
• 均压环
• 倍压筒

介绍了一种离子注入机用、最高电压达到350 kV的层叠开放式加速电源的研制方法。通过将倍压部分设计为层叠开放式、高集成化的倍压筒结构,实现了倍压筒的长期可靠性和绝缘性能,提升了高压电源的电压等级和整体性能。