基于微机电系统加工技术的微小型矩形离子阱的研制

作者：陈婷; 姚锦元; 蒋公羽; 肖育; 陈新; 杨雨; 郑恒

来源：质谱学报, 2020, 1-8.

• 矩形离子阱
• 微机电系统(MEMS)
• 理论仿真
• 质谱
• 质量分辨 rectangular ion trap(RIT)
• micro electro mechanical systems(MEMS)
• theoretical simulation
• mass spectrometry
• mass resolution

矩形离子阱(RIT)不仅具有线性离子阱(LIT)捕获效率高和存储容量大等特点,还兼具圆柱形离子阱(CIT)易加工和装配的优点,具有小型化的优势。为了使RIT进一步微小型化,本研究采用微机电系统(MEMS)和激光切割技术加工微小型RIT,并通过模拟仿真分析RIT的各项参数与其内部电场成分的关系。结果表明:固定离子阱非出射方向的场半径为1.4 mm,拉伸离子出射方向的场半径为1.60 mm,在电极厚度为50μm时,分析m/z 119离子的质量分辨率可达到452。使用MEMS工艺可制备高精度、微米级的微小型RIT。质谱分析表明,制备的微小型RIT对m/z 391的邻苯二甲酸二辛酯具有高于500的质量...

• 单位
  上海卫星装备研究所; 上海交通大学; 复旦大学