球磨工艺对SPS烧结Mo-5％Ta合金靶材性能的影响

作者：刘大伟; 黄蕾; 张久兴; 潘亚飞

来源：硬质合金, 2022, 39(2): 94-101.

DOI：10.3969/j.issn.1003-7292.2022.02.003

• 球磨
• SPS
• Mo-5
• Ta合金靶材
• 组织
• 性能

采用球磨和放电等离子烧结(SPS)工艺制备了 Mo-5％Ta(质量分数,下同)混合粉末及其合金,研究了不同球磨工艺对粉末形貌、粒度及烧结后合金微观结构、硬度及热导率的影响.结果表明:球磨时间和球磨转速均不同程度的改变了原始粉末的团聚现象,但低转速(150 r/min)球磨对粉末形貌的影响相对较小.随着球磨时间的增加,Mo-5％Ta粉末粒度先增大后减小,而随着球磨转速的增加,Mo-5％Ta粉末粒度先减小后增大.球磨后的Mo-5％Ta粉末经SPS烧结所得合金的组织细小均匀,随着球磨时间、球磨转速的增加,合金晶粒尺寸减小,相对密度先增加后降低,维氏硬度(HV0.5)增大,热导率(25℃)无明显变化.当球磨时间为20 h、球磨转速为300 r/min时,烧结样品的相对密度达到99.19％、晶粒尺寸为5.73 μm、维氏硬度(HV0.5)为241.67及热导率(25℃)为 159.34 W/(m·K).