晶圆测量系统的设计与有限元分析

作者：王均涛

来源：精密制造与自动化, 2020, (02): 11-15.

DOI：10.16371/j.cnki.issn1009-962x.2020.02.003

• 晶圆测量
• 检测平台
• 光谱共焦
• 重复测量精度

本文设计了一种晶圆测量系统,主要由大理石基座、测量平台、大理石横梁、上测头机构、下测头机构和一对共焦位移传感器等部件组成;对测量平台、上、下测头支架等结构进行了有限元分析和校核,满足设计要求;并进行了样机重复精度测试,测得THK的重复精度±0.3μm、Warp的重复精度±0.2μm、Bow的重复精度±0.2μm、TTV的重复精度±0.5μm,重复精度完全达到实际测量要求。