砷烷的合成与纯化

作者：巩晓辉; 赵鹏德; 张澈

来源：低温与特气, 2022, 40(01): 6-9.

• 砷烷
• 电解
• 纯化

砷烷是重要的电子特气之一，是半导体工业中不可缺少的基础材料。由于其本身的剧毒性、合成纯度要求高，净化难度大等因素，在国内的安全大背景下，很少有企业愿意冒风险开展此类工作。在此，列举了关于砷烷制备、提纯等一系列工艺的进展。