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摘要
本发明公开了一种MSM结构的柔性瞬态硅薄膜光电探测器,主要解决现有光电探测器不能同时满足具有柔性以及瞬态可降解特性的问题。其包括柔性衬底层(1)、粘合层(2)、硅薄膜活性层(3)、欧姆接触层(4)、钝化保护层(5)、光减反层(6)。其中硅薄膜活性层采用n型单晶轻掺薄膜硅；欧姆接触层中设有TiO2插入层,以改善欧姆接触且避免高温工艺对柔性衬底的损害；光减反层采用ZnO种子层与ZnO纳米圆柱线阵列复合结构,实现高减反陷光,拓宽器件的吸收角度,拓展紫外光探测能力,并实现瞬态可降解特性。本发明同时实现了光电探测器的柔性及瞬态特性,可用于紫外天文学、医学、生物学、天际通信、火焰探测以及污染监视。
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