980nm大功率高阶光栅锥形半导体激光器

作者:郎兴凯; 贾鹏; 秦莉; 陈泳屹; 梁磊; 雷宇鑫; 宋悦; 邱橙; 王玉冰; 宁永强; 王立军
来源:红外与毫米波学报, 2021, 40(06): 721-724.

摘要

为了获得高功率、窄线宽和近衍射极限输出的半导体激光器,采用高阶光栅(high order Bragg gratings,HOBGs)和主控振荡功率放大器(Master Oscillator Power-Amplifier,MOPA)结构,成功研制出一种980 nm波段的HOBGs-MOPA半导体激光器。该激光器采用周期为11.37μm的高阶光栅进行光模式选择,通过锥角为6°的锥形波导将单模激光功率放大,实现了输出功率2.8 W,3 dB光谱线宽31 pm,光束质量因子M2为2.51的窄线宽激光输出。