硅片检测过程要求其运动系统具有较高的精度,实现其中的精密直线运动对整个复合运动平台至关重要。采用直线电机驱动的方式设计了一套精密直线运动平台,阐述了其机械系统和控制系统设计过程。实验结果和实际应用表明:本平台比目前采用滚珠丝杠驱动的直线运动平台具有更高的精度、更大的加速度、运行更平稳和更长的寿命等优点,可以完成硅片检测过程要求的运动,运动精度满足了应用场合的要求。
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