一种化学气相多元沉积产物组分预测方法

作者：关康; 任海涛; 曾庆丰; 卢振亚; 吴建青

来源：2020-09-18, 中国, ZL202010988337.3.

本发明公开了一种化学气相多元沉积产物组分预测方法,包括：步骤S1,根据工艺条件,计算配分函数：步骤S2,计算热熔和熵；步骤S3,根据平动、转动、振动及电子配分函数,计算标准生成焓和标准生成吉布斯自由能；步骤S4,根据化学平衡原理,即体系总吉布斯自由能最小的数学条件,获得所有产物的平衡产量分布；步骤S5,工艺条件、沉积固相和产率作为输入数据,利用BP算法建立训练模型。步骤S6,建立BP训练模型后,结合遗传算法,对计算出的结果进行分析,不断搜索出不同权重条件下的最高固相产量。本发明的优点是：建立可准确预测沉积理论产物组分的模型,实现多组分产量最大的优化目标,加快CVD工业生产研发效率和降低其生产成本。

• 单位
  华南理工大学