基于MEMS的镍薄膜加热器催化传感器研究

作者：孙风光; 刘焱; 周岩; 杨培滋

来源：传感器与微系统, 2019, 38(05): 23-26.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)05-0023-04

• 镍薄膜加热器
• 催化传感器
• 灵敏度
• 长期稳定性

设计了基于微机电系统(MEMS)工艺,以镍薄膜作为加热体的新型催化传感器。通过磁控溅射沉积、刻蚀等工艺制成镍薄膜加热器,并对其进行了稳定化热处理以及防氧化聚合物涂层处理。传感器性能测试结果表明:镍薄膜加热器具有良好的抗高温氧化能力;气氛老化可缩短50%的老化时间;甲烷气体浓度与灵敏度呈良好的线性关系;对甲烷的灵敏度约为30 m V/1%Vol;传感器功耗约为150 m W,零点和灵敏度年漂移小于1. 5%LEL。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所