0.2nm带宽滤光片的制备以及退火温度对其形貌和性能的影响

作者：王凯旋; 陈刚; 刘定权; 马冲; 张秋玉; 高凌山

来源：光学学报, 2021, 41(20): 225-231.

• 薄膜
• 亚纳米带宽滤光片
• 离子束溅射沉积
• 近红外波段
• 退火温度

近红外波长为1.064μm的激光是激光测距、自由空间光通信和空间光学遥感等应用中的主要激光光源之一。窄带滤光片是抑制背景光干扰的关键元件之一,目前大部分滤光片的半峰全宽为几纳米。本文研制了中心波长为(1064±0.05) nm、半峰全宽为0.19 nm、峰值透过率可达70.2%的带通滤光片,并考察了不同温度(100,200,300℃)退火处理后滤光片的表面形貌和光谱特性的变化。实验结果表明:滤光片的表面光滑,受退火温度的影响很小;滤光片的透射光谱随着退火温度的升高向长波方向移动,在100℃退火处理3 h的滤光片的光谱漂移量为0.03 nm,说明该滤光片可在温控条件有限的空间光学系统中使用。