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调控衬底温度和氧分压制备高电学性能AZO薄膜
作者:曾勇; 宁洪龙; 方志强; 刘贤哲; 陶瑞强; 胡诗犇; 朱峰; 姚日晖; 王磊; 兰林锋; 彭俊彪
来源:中国,江苏省,苏州市.
掺铝氧化锌薄膜
脉冲激光沉积
电阻率
氧吸附
单位
华南理工大学
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