调控衬底温度和氧分压制备高电学性能AZO薄膜

作者:曾勇; 宁洪龙; 方志强; 刘贤哲; 陶瑞强; 胡诗犇; 朱峰; 姚日晖; 王磊; 兰林锋; 彭俊彪
来源:中国,江苏省,苏州市.