基于SU-8胶的微针执行器的研制

作者：秦宁; 赵湛; 张博军; 陈绍凤; 夏善红

来源：仪器仪表学报, 2004, S2: 104-106.

DOI：10.19650/j.cnki.cjsi.2004.s2.035

• SU-8胶
• 微针执行器
• MEMS SU-8 photoresist Microneedle executor MEMS

利用MEMS技术设计和制作了一种微量取样执行器。执行器由微针、微通道、反应室、电极以及永磁微阵列等各部分组成,通过外部磁场可以实现双向线性地驱动。利用SU - 8光刻胶为主要材料,采用多级曝光和电铸金属实现3D结构的工艺技术,研制出了微针执行器的雏形器件。针尖的尺寸为5 0 0 μm×6 0 μm×6 0 μm,针孔截面为2 0 μm×2 0 μm。

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 中国科学院研究生院; 传感技术国家重点实验室