基于游标干涉的新型高灵敏度微环传感器

作者：张晓光; 吴远大; 王玥; 安俊明; 张家顺; 谢亮; 胡雄伟

来源：半导体光电, 2015, 36(02): 182-185.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2015.02.002

• 光学传感器
• 微环谐振腔
• 高灵敏度
• 低Q因子

设计并分析了一种基于游标效应的光学传感器。采用截面尺寸为220nm×500nm的SOI矩形波导来进行分析。传感器的灵敏度为4.5×104 nm/RIU,探测极限低于10-4 RIU。该传感器最重要的优点是,即使器件有很高的传输损耗和低的Q因子,仍有很高的灵敏度和低的探测极限。分析了热光效应对基于游标效应传感器的影响。分析结果也同样适用于其他基于游标效应的传感器。

• 单位
  中国科学院半导体研究所; 集成光电子学国家重点实验室