三氯氢硅合成工艺及控制

作者：李文光; 李光茜; 罗平; 谭宗国

来源：云南冶金, 2010, 39(05): 44-47.

DOI：10.3969/j.issn.1006-0308.2010.05.009

• 三氯氢硅
• 流化态沸腾炉
• 串级控制
• 比例控制

介绍了三氯氢硅的基本性质、用途、生产工艺和生产设备,并针对生产过程的要求提出了控制解决方案。