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摘要
本发明涉及一种测量空心玻璃微珠内真空度的装置及方法,该装置包括测量腔、空心玻璃微珠、盛装容器、挤压活塞、液压马达、热电偶、绝压计、精密活塞、差压计、平衡阀、参考腔室等部分组成；由于真空玻璃微珠呈粉末状堆积,粉末堆不仅包含空心玻璃微珠内气体,还包含玻璃微珠之间的堆积空隙,因此本装置需通过两个步骤实现真空玻璃微珠内真空度的测量：1.堆积粉末孔隙率测试；2.空心玻璃微珠内压力测试；本发明使堆积状态的大量空心玻璃微珠发生破碎,通过测量整体腔室内压力变化,避免了单个微纳尺寸真空容器测量难度大、测量精度低的难点。
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