纳米金属氧化物气敏薄膜的最佳晶粒尺寸和介观效应

作者：李蕾; 刘文利; 高建华; 裘南畹

来源：计测技术, 2006, 26(S1): 12-15.

DOI：10.3969/j.issn.1674-5795.2006.z1.005

• 晶粒尺寸
• 介观效应
• Fermi统计

纳米金属氧化物气敏薄膜存在灵敏度的最佳膜厚l*和最佳晶粒尺寸r0*,其值与材料和工艺有关。最佳晶粒尺寸的存在是一种新的介观效应,它来自晶粒尺寸缩小到一定程度时反映吸附氧负离子的Fermi统计失效;根据当晶粒尺寸缩小到特征长度rm时晶粒将保持电中性的Kubo理论对Fermi统计公式进行修正,从而给出了最佳晶粒尺寸r0*=2rm的结果,并用Kubo理论电子逸出功公式估算了rm与r0*的数值。

• 单位
  山东大学