超低温烧结ZTT陶瓷微结构及介电性能研究

作者：陈琳玲; 陈宏伟; 张继华; 赵强; 杨传仁

来源：压电与声光, 2013, (05): 724-726.

• 微波介质陶瓷
• 超低温烧结
• 介电性能
• Zn2Te3O8-30%TiTe3O8(ZTT) microwave dielectric ceramic
• ultra-low-fire
• dielectric property
• Zn2Te3O8-30%TiTe3O8

采用传统固相反应法制备Zn2Te3O8-30%TiTe3O8(ZTT,质量分数)粉体,在低于600℃的管式气氛炉中烧结,利用XRD、SEM及微波网络分析仪等手段对不同热处理后的样品进行分析,并测试介电性能。实验表明,ZTT能在超低温下烧结成瓷,且介电性能良好(低频测试下介电常数εr=19～27,损耗低于3%,高频下品质因数与频率之积Q×f=56 191GHz,频率温度系数τf=1.66μ℃-1),为制作低成本薄膜电容提供可能。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学