光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器研究进展

作者：李爱武; 单天奇; 国旗; 潘学鹏; 刘善仁; 陈超; 于永森^*

来源：中国光学(中英文), 2022, 15(04): 609-624.

• 光纤法布里-珀罗干涉仪
• 高温传感器
• 高温压力测量

光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器具有体积小、制作简单、灵敏度高、耐高温和抗电磁干扰等优点，广泛应用于航空航天、能源工业及环境监测等领域。本文首先介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的传感原理、传感性能、传感特性和制备方法。然后对其温度、压力和应变的灵敏度和测量范围等特征参数进行了归纳。总结了光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的国内外研究进展及性能参数。介绍了光纤法布里-珀罗干涉仪传感器温度和压力的交叉敏感问题及解决方法和基于不同种类光纤的法布里-珀罗干涉仪高温传感特性。针对近几年光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的研究进展，介绍了多种用于双参数测量的光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器。最后对光纤法布里-珀罗干涉仪高温传感器的未来发展趋势和前景进行了展望。

• 单位
  发光学及应用国家重点实验室; 吉林大学; 集成光电子学国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所