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摘要
目前利用数模混合集成电路自动测试机（ATE）测试系统测试纳秒级传输延迟时，由于信号发生单元驱动能力限制，多采用程控外接仪器进行测试，大批量测试时无法满足生产需求。文中介绍数模混合集成ATE测试系统的工作架构和传输延迟时间的测试原理，分析了基于数模混合ATE测试系统的时间测量单元（TMU）的工作原理和采用程控外接仪器的时间测试方法，通过对两种测试方法的对比，总结了优化TMU测试方法取代程控外接仪器的必要性。以MOSFET为研究对象，研究导致传输延迟测量误差的原因，通过增强ATE的信号驱动能力优化了TMU测试方法。试验结果表明，优化后传输延迟测试方法与MOSFET器件规范中的典型值基本一致，并且提高了测试效率，满足了大批量测试的需求。
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单位中国电子科技集团公司第五十八研究所
