用锌有机源和CO_2/H_2混合气源PECVD沉积ZnO薄膜

作者：张萌; 王应民; 徐鹏; 蔡莉; 李禾; 程国安; 刘庭芝

来源：光学学报, 2006, (04): 639-640.

• 薄膜光学
• ZnO
• 等离子体增强化学气相沉积

在等离子体作用下,以CO2/H2混合气为氧源,Zn(C2H5)2锌为锌源,在单晶硅上生长出高度择优取向的氧化锌薄膜。X射线衍射分析表明,薄膜为六方结构,c轴高度择优;原子力显微镜观察到晶粒是有规律地按六方排布,薄膜的表面粗糙度较小;从光致发光谱还发现在380 nm处有非常强的紫外峰。

• 单位
  南昌大学材料科学与工程学院; 南昌航空工业学院材料科学与工程学院; 北京师范大学