AIChE封面报道华东理工大学原子层沉积ALD反应器多尺度模拟研究

来源：膜科学与技术, 2021, 41(04): 128.

<正>华东理工大学化工学院膜科学与工程许振良教授团队,与美国约翰霍普金斯大学、普林斯顿大学等单位合作,开发了一套原子层沉积(ALD)反应器多尺度模型,可用于预测ALD反应器尺度高真空流体流动、传热、传质过程和衬底纳米孔道内薄膜沉积过程.