利用洛埃镜法测量透明薄膜厚度

作者：王锦辉; 赵西梅; 孙存英; 王宇兴

来源：大学物理实验, 2019, 32(04): 1-4.

DOI：10.14139/j.cnki.cn22-1228.2019.04.001

• 洛埃镜
• 透明薄膜
• 厚度测量
• 误差分析

将一面贴有透明手机保护膜的光学玻璃片作为洛埃镜,激光经扩束镜形成点光源,先掠射入无膜和有膜表面,通过干涉条纹间距测量,得到激光波长和手机保护膜厚度。波长和膜厚测量结果相对误差分别为0.82%和2.7%。文章给出了测量原理、实验步骤以及数据处理结果。相对于其他透明薄膜厚度测量方法,利用洛埃镜法测量透明薄膜厚度原理简单、设备要求不高、快捷、实用性较强。文章还通过误差分析提出减少激光波长实验误差的方法是测量实虚光源间距时,光源与屏的距离应稍大于4倍透镜焦距,而测量干涉条纹间距时,光源与屏距离越大越好。在进行膜厚测量时光源与屏距离不能太大,点光源应尽量靠近膜表面。

• 单位
  上海交通大学