伪火花放电的物理机制与应用综述

作者:闫家启; 申赛康; 孙国祥; 丁卫东*
来源:电工技术学报, 2021, 36(11): 2408-2423.
DOI:10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.200262

摘要

伪火花放电是一种工作于巴申曲线左半支、引燃于空心阴极结构、具有弥散的主放电通道的特殊低气压放电,在脉冲功率和等离子体等领域得到广泛应用。该文综述了近年来有关伪火花放电物理机制和典型应用的研究。首先分析伪火花放电主要过程的典型特征、微观机制和影响因素,依次为预放电、空心阴极放电、超密集辉光放电和真空电弧放电四个阶段;其次讨论当前伪火花放电研究中仍存在的问题,如电流淬灭和阻抗波动等;然后介绍伪火花放电的典型应用,包括伪火花开关、电子束源、极紫外光源等,并着重介绍相关装置的参数水平和技术特点;最后探讨伪火花放电研究今后的发展趋势。

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