多晶硅生产回收氢气中杂质来源及控制措施

作者：袁川江^*; 文林

来源：云南化工, 2022, 49(09): 98-100.

• 多晶硅
• 回收氢
• 杂质
• 控制措施

介绍了多晶硅生产回收H2中杂质的主要来源。针对难以去除的杂质，通过采用降低冷凝温度、优化HCl解析操作、采用特殊吸附剂并强化吸附效果等方法进行了去除，对提高回收氢气纯度，从而提高多晶硅产品质量具有重要意义。