脉冲法结温测量中校温曲线随电流变化现象的研究

作者:李灏; 郑世棋; 翟玉卫; 刘岩; 丁晨; 吴爱华
来源:半导体技术, 2020, 45(12): 988-992.
DOI:10.13290/j.cnki.bdtjs.2020.12.013

摘要

以功率二极管为实验对象,研究了大电流条件下脉冲法结温测量中校温曲线随电流变化的现象。通过搭建脉冲法校温曲线测量装置,在不同电流条件下开展了校温数据测试工作。测试结果显示,校温曲线随测试电流大小变化显著。测试电流增大过程中,校温曲线斜率由负转正并不断增大,曲线线性程度减弱。理论分析表明,器件内部串联电阻是导致校温曲线变化的主要原因。对校温曲线随电流变化规律进行分析,可为测试电流选取及校温曲线模型建立提供指导,减小大电流情况下脉冲法测量结温的误差。

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