压电薄膜微致动器的制作和有限元分析

作者：荆阳; 雒建斌; 易晓星; 黄朋生

来源：清华大学学报(自然科学版), 2005, (05): 618-621.

DOI：10.16511/j.cnki.qhdxxb.2005.05.011

• 硬盘驱动器
• 压电微致动器
• 锆钛酸铅多层膜
• 双级伺服系统 hard disc drives
• piezoelectric microactuator
• lead-zirconate titanate multilayer film
• dual-stage servo system

为实现高密度硬盘驱动器磁头的精确定位,设计和制作了一种与不锈钢基体粘结的压电薄膜微致动器。该致动器中的锆钛酸铅多层膜元件采用溶胶凝胶技术制作而成。对该致动器进行了实验测试和有限元分析。结果表明:当采用双层膜结构时,压电微致动器的位移/驱动电压灵敏度和谐振频率分别达到了1.396μm/±20V和15.13kHz;有限元仿真结果与实测结果基本吻合。

• 单位
  中国科学院声学研究所; 清华大学; 北京理工大学; 摩擦学国家重点实验室