科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
本发明公开了一种能提高测量范围的微纳米三维接触式测量探头及控制方法,具有测量单元和测头单元；其测量单元中激光器发射的准直光束在迈克尔逊干涉仪中的分成两路准直光,并一一对应形成参考光束和测试光束,在参考光束和测试光束之间产生干涉；其测头单元是在圆环座与中心盘之间以弹簧相连接,使中心盘在所述圆环座中呈悬浮结构,在所述中心盘的一侧固定设置测量反射镜,另一侧安装带有测球的测杆；将迈克尔逊干涉仪中用于形成参考光束的参考反射镜设置在二维微调座上,通过调整二维微调座,使参考反射镜获得所需的二维偏摆角度,以此满足设定的测量范围的要求,本发明能达到扩大探头的量程、提高测量精度的效果。
- 单位
