LTCC用钌系电阻浆料特性分析

作者:谢廉忠; 游韬; 王锋
来源:电子机械工程, 2019, 35(01): 42-45.
DOI:10.19659/j.issn.1008-5300.2019.01.010

摘要

随着低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic, LTCC)技术优势逐步被大家所认识,其广阔的应用前景以及巨大的市场需求驱动着国内厂商开始关注LTCC材料的开发,涌现出了不同品种的LTCC生瓷带和浆料,但由于缺乏工程化应用验证和可靠性考核,离货架产品尚有不少距离。文中对国产钌系电阻浆料在X波段收/发组件中的应用进行了深入研究,分析了钌系电阻浆料的工艺性能、材料匹配性能、微波性能以及可靠性能,并采用国产钌系电阻浆料研制了X波段T/R组件,性能指标满足相控阵雷达技术要求,为微波LTCC材料的国产化进行了有益的探索。

  • 单位
    南京电子技术研究所