不同微结构Ti/TiN多层涂层的抗冲蚀性能研究

作者：孙刚^*; 冒昌伟; 陈希亮; 刘星; 马国佳

来源：真空科学与技术学报, 2019, 39(08): 683-688.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.08.11

• Ti/TiN多层结构涂层
• 涂层层间结构
• 抗冲蚀性能

采用离子源辅助的真空多弧镀膜机在TC11基体上制备了不同层间结构的多层结构TiN/Ti涂层。研究了各涂层的微结构对涂层力学性能和抗冲蚀行为影响。研究发现与基体相比制备涂层后的试样冲蚀磨损率明显降低,最大降幅可达90%。不同微结构的TiN/Ti多层结构涂层的破坏形式与Ti金属层与TiN层分布有非常密切的联系,TiN较厚时整体硬度较高,涂层抵抗冲击破坏的能力强,裂纹不容易产生.经过冲刷试验后普遍呈现梯田型的冲刷痕迹,从冲刷坑中心部位向边缘部位延伸,涂层逐层脱落而造成冲蚀流失,没有出现整体脱落的情况。