基于半导体的工艺线设备配置及选型技术

作者：胡伟; 蔡颖岚; 邓学文; 赖忠良; 唐代飞

来源：设备管理与维修, 2018, (09): 101-103.

DOI：10.16621/j.cnki.issn1001-0599.2018.05.57

• 半导体工艺
• 设备配置
• 设备选型
• 光刻机

半导体工艺根据产品采用不同的工艺路线,分析小规模特殊器件的工艺路线。根据产品器件需求配置相应的设备,满足生产适用性、技术先进性和经济合理性原