不同金属基材上类金刚石薄膜的摩擦特性

作者：郑锦华; 李聪慧; 张冲; 晁云峰

来源：光学精密工程, 2013, (06): 1545-1552.

• 类金刚石(DLC)薄膜
• 中间过渡材料
• 摩擦和磨耗
• 薄膜界面强度
• 化学气相沉积(CVD) Diamond-like Carbon(DLC) film
• intermediate material
• friction property
• failure lifetime
• Chemical Vapour Deposition(CVD)

针对类金刚石(DLC)薄膜在精密机械零件中的应用,研究了在常温条件下沉积高界面强度的DLC薄膜的技术,以提高DLC薄膜与金属基材之间的结合强度。通过在基材与薄膜之间沉积加入a-Si∶H中间过渡层,研究了在不同金属基材上DLC薄膜的结合强度。采用Ball-on-Disk方法评价了薄膜的摩擦特性并测定其摩擦系数、疲劳破坏寿命和磨耗。实验结果表明:在薄膜与金属基材之间加入a-Si∶H过渡层后,界面的结合(键合)强度得到了明显的改善,在金属基材上沉积的DLC薄膜在磨耗过程中被完全磨穿而没有发生剥离。实验显示,在自制的化学气相沉积RF-DCCVD装置上沉积的DLC薄膜的最大沉积厚度是3.3μm;在1μm...

• 单位
  郑州大学