辐射制冷高反射Ag薄膜的腐蚀条件及防护

作者：颜毓雷; 尹铮杰; 赵锦玲; 翟怀伦; 王明辉^*

来源：腐蚀与防护, 2022, 43(02): 18-57.

• 银纳米反射膜
• 腐蚀条件
• 防腐蚀膜系结构
• 磁控溅射

高反射Ag薄膜在空气中易老化，通过改变环境中的湿度、温度、反应气体浓度三个条件对Ag薄膜的腐蚀行为进行研究。结果显示：Ag薄膜试样在60℃,90%RH大气环境中12 d后的黄边占比为7.2%,湿度对Ag薄膜腐蚀的影响最显著，温度次之。反应气体浓度降低到水中溶解度时对Ag薄膜的腐蚀抑制效果明显。SiNx/Ag-Cu/SiNx膜系结构可以减少水汽吸附，延缓反应气体在薄膜中的扩散并阻隔水汽，实现对Ag薄膜的防护。在60℃,90%RH大气环境中12 d后，SiNx/Ag-Cu/SiNx反射膜未观察到腐蚀。