科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
为满足微机电系统（micro-electro-mechanical system,MEMS）二维激光扫描系统对显微物镜小入瞳直径、大入射角度、大视场的要求，利用光学设计软件Zemax设计了一款入瞳直径为1.1 mm，可匹配MEMS二维振镜±18°大扫描角度的近红外无限共轭微型显微物镜。该物镜总长小于23 mm，数值孔径为0.4，分辨率为1.26μm，工作距为900μm，各项像差校正良好，满足使用需求。设计结果表明，该微型显微物镜可满足便携式皮肤检测仪器的MEMS二维振镜激光扫描系统的应用要求。
- 单位
